二氯硅烷

    二氯硅烷 :

SiH₂Cl₂ [1]

常温常压下 为无色气体,市售品为装在容器 中的无色透明液体(压力0.03～ 0.18MPa)。相对分子质量101.01。 气体密度4.599g/l,液体相对密度1.42 (-122℃)。熔点-122℃。沸点8.3℃。粘度0.307 mPa·s(7℃)。在潮湿空气中可以水解,而产生白 色氯化氢烟雾。与空气形成爆炸混合物,爆炸极 限4.1%～98.8%(体积分数)。能与格氏试剂起 反应。工作场所最高允许浓度0.5×10^-6。
用途:主要用作半导体外延材料;化学蒸镀 用气源。
制法:①硅和盐酸蒸气反应。
②四氯化硅和甲醛反应。