纯氩和高纯氩

    纯氩和高纯氩 : Ar,纯氩纯度为99.9%,高纯氩纯 度为99.999%,尘埃(φ≥0.5μm)≤3.5粒/ 升。氩是空气中含量最多的一种稀有气体,无 色无臭,不助燃,无毒。纯氩可用低温精馏 法制取,纯氩经铜炉高温除氧、硅胶干燥除 水、再经除氮塔进一步精馏除氮便得 99.999%的高纯氩。纯氩可配制特种混合气 和工业混合气如电光源混合气等。高纯氩作 为保护气和运载气主要用于电子工业中半导 体锗、硅等的精炼和单晶硅的制备。