二氯二氢硅

    二氯二氢硅 : SiH₂Cl₂,在常温常压下为有刺激性窒息气味 和腐蚀性的无色有毒气体。在空气中易燃,在 100℃以上能自燃并自行分解。在湿空气中产 生腐蚀性烟雾,遇水分解生成盐酸和聚硅氧 烷,可溶于苯、醚和四氯化碳。本品用于电 子工业中硅外延生长,化学气相沉积二氧化 硅和氮化硅。