负性电子束抗蚀剂

    负性电子束抗蚀剂 : 又称氯甲基化聚苯乙烯。产品为淡黄色液体,是一种灵敏度、分 辨率、耐干刻蚀性兼优的电子束、软X线、深 紫外用负性辐射线抗蚀剂,可用于电子束制 版,也可用于深紫外翻版和光刻及软X线光 刻。一般以聚苯乙烯与氯甲基醚反应、精制, 加入溶剂配制而成。用棕色玻璃瓶包装、避 光避热保存。