环化光刻胶

    环化光刻胶 : 或称环化橡 胶型光致抗蚀剂,系由环化天然橡胶、增感 剂(或称交联剂、如对叠氮型化合物)、光敏 剂及适当溶剂配制而成。该胶有较好的抗蚀 性能,可用于光刻多种金属如铬、钼、铝、镍- 铬以及硅、硫化铅、锑化铟等,也可用于多 种电路光刻工艺、集成电路以及红外元件低 温光刻。