环化聚丁二烯

    环化聚丁二烯 : 属环化橡胶类负型光致抗蚀剂,具有特殊的 耐热性,250℃时不塌胶,光敏性高,对各种基材有良好的附着 力。可刻出2μm的线 条,能耐氢氟酸、磷 酸、硝酸的长时间腐 蚀,对光和热敏感。该 胶种适用于集成电路 和各种元件的光刻工 艺及精密仪器、器件 等微细图形的加工。 环化聚丁二烯是由聚丁二烯经环化反应制 得。虽然1,2-聚丁二烯及1,4-聚丁二烯均 可环化、但实际上是选用1,4-聚丁二烯的环 化物配制抗蚀剂,即以聚1,4-丁二烯橡胶为 原料,在催化剂作用下进行环化,再经精制、 加入交联剂和溶剂配制而成。