聚乙烯醇肉桂酸酯

    聚乙烯醇肉桂酸酯 : 又称1号胶,淡黄色液 体,是一种负型光致抗蚀剂,在紫外光照射 下聚合,不见光的部分不聚合。曝光显影后图形分辨率好,质量 稳定,对二氧化硅、 硅、铝、氧化铬等材 料有良好的附着力, 能耐氢氟酸、磷酸腐 蚀。广泛用于制备集 成电路、电子元件的 光刻工艺,还适用于 印刷线路板、金 属表牌、光学仪器、 精密量具等微细图形 的加工。制备聚乙烯醇肉桂酸酯有二种方法:

(1)吡啶法(或称柯达法),以吡啶溶解 聚乙烯醇后在50℃温度下滴加肉桂酰氯进 行酯化反应,反应结束后再加丙酮稀释、在 水中沉析、洗净、干燥即得成品;
(2)水乳液法(或称东工法),该法采用 冷却酯化工艺,以丁酮为溶剂在0℃下进行 反应,反应物在汽油中沉析,然后经脱水等 后处理可得成品。