聚酯光刻胶

    聚酯光刻胶 : 聚酯型光刻胶的化学组成为聚肉桂亚丙基二酸乙二醇 酯,是一种具有高分辨率的负性抗蚀剂。它 的抗蚀性能好,与SiO₂及铝表面有较强的粘 附力,分辨率可达1μm,用于高分辨率光刻 工艺中。制备聚肉桂亚丙基二酸乙二醇酯一 般先以肉桂醛与丙二酸在吡啶催化下缩合成 肉桂亚丙基二酸,再以对甲苯磺酸为缩聚催 化剂,由肉桂亚丙基二酸和乙二醇直接缩合 制得。