离子束抗蚀剂

    离子束抗蚀剂 : 用聚焦 离子束作曝光源的抗蚀剂。由于聚焦离子束 可以进行扫描诱发辐射化学反应,在固体内 的散射范围内因质量大都比电子束小两个数 量级以上而无邻近效应,所以离子束抗蚀剂 可以达到高于电子束抗蚀剂的分辨率 (0.05μm以下),是进行0.1μm以下图像加 工的重要技术。常用的一些辐射线抗蚀剂如 甲基丙烯酸甲酯等均可被用作离子束抗 蚀剂。