六氟丙烷

    六氟丙烷 : C₃H₂F₆, 纯度>99.9%。为无色、无臭、无味、不可燃 的惰性气体。微溶于水,熔点-183℃,沸点 -37℃,液体密度1.350g/ml (20℃)。以碳型 材料直接氟化并经低温精馏分离纯化可制得 99.9%产品。本品在微电子工业中可用于等 离子蚀刻及表面清洗。