六氟化钼

2025-03-04 浏览： 0

导读：六氟化钼 : MoF6,纯度99%,为白色晶体,在潮湿空气中生成蓝白色的烟,熔点17.5℃、沸点35℃,密度2.543g/ml。可用钼粉直接氟化制得纯度大于99%的产品。本品可在微电子工业中用作化学气相沉积硅化钼或钼以制作低电阻、高熔点的互连线。

六氟化钼 : MoF₆,纯度>99%,为白色晶体,在潮湿空气中生成蓝白色的烟,熔点17.5℃、沸点35℃,密度 2.543g/ml。可用钼粉直接氟化制得纯度大于99%的产品。
本品可在微电子工业中用作化学气相沉积硅化钼或钼以制作低电阻、高熔点的互连线。