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六氟化钨
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导读：六氟化钨 : WF6,纯度99.8%。为无色无臭气体或淡黄色液体。有毒,熔点2.3℃、沸点17.2℃,液体密度3.441g/ml。钨粉直接氟化并分离纯化可制得纯度大于99.8%的产品。本品在微电子工业中可用作气相沉积硅化钨或钨,以制作低电阻、高熔点的互连线。
六氟化钨 : WF6, 纯度>99.8%。为无色无臭气体或淡黄色液 体。有毒,熔点2.3℃、沸点17.2℃,液体密 度3.441g/ml。钨粉直接氟化并分离纯化可 制得纯度大于99.8%的产品。本品在微电子 工业中可用作气相沉积硅化钨或钨,以制作 低电阻、高熔点的互连线。
