六氟乙烷

    六氟乙烷 : C₂F₆,纯 度>99.7%,为无色、无臭、无味、不可燃 的惰性气体。微溶于水,熔点-100.6℃,沸 点-78℃,液体密度1.60g/ml。以碳型材料 直接氟化并经低温精馏分离纯化可制得纯度 大于99.7%的产品。本品在微电子工业中用 于等离子蚀刻及表面清洗。