三氟化砷

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导读:三氟化砷 : AsF3,纯度99%为无色剧毒液体。熔点-5.95℃,沸点57.13℃,液体密度2.67g/ml。将高纯度三氧化二砷与氟化氢反应可制得纯度高于99%的产品,本品可在微电子工业中用作砷离子注入剂。

    三氟化砷 : AsF3,纯 度>99%为无色剧毒液体。熔点-5.95℃,沸 点57.13℃,液体密度2.67g/ml。将高纯度三 氧化二砷与氟化氢反应可制得纯度高于99% 的产品,本品可在微电子工业中用作砷离子 注入剂。

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