三氟甲烷

    三氟甲烷 : CHF₃,纯 度有98%、99.9%及99.99%三档。为无色、无 臭、不可燃气体,微溶于水。熔点-155.2℃, 沸点-82.16℃,液体密度1.442g/ml (-80℃)。采用催化歧化法合成并经低温精 馏纯化可制得上述产品。本品在微电子工业 中用于等离子蚀刻二氧化硅。