扩散泵

    扩散泵 : 利用蒸气 流进行工作的一类真空泵。用油类作为蒸 气源的,称为“油扩散泵”;用汞作为蒸气源 的称为“水银扩散泵”。工作时必须与前级 泵(如^*转动真空泵)一同使用,并应在前级 泵把待抽容器抽到一定真空度(1.33～ 0.133帕)以后,再加热扩散泵内的油使其 转化为蒸气,从各级喷口高速喷出。被抽 容器中的气体分子扩散到气流中去,被蒸 气分子携带压缩为较大的浓度而被前级泵 抽出; 油蒸气本身则受到泵壳外水冷管的 冷却而重新液化,回入泵内。这样周而复 始,一般可使被抽容器内的真空度提高到 1.33×10^-2～1.33×10^-5帕。扩散泵用油 在室温下的蒸气压极小(1.33×10^-4帕以 下)。水银扩散泵必须和^*冷阱同时使用, 才能获得高真空。